一種旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)偏差的補(bǔ)償方法,包括:獲取圖像采集單元坐標(biāo)系原點(diǎn)相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸坐標(biāo)系原點(diǎn)的橫向偏移量ΔX和縱向偏移量ΔY;在晶圓上選取標(biāo)記點(diǎn),并獲取標(biāo)記點(diǎn)在圖像采集單元坐標(biāo)系中的橫向坐標(biāo)X1和縱向坐標(biāo)Y1;計(jì)算基于旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)X軸移動(dòng)將標(biāo)記點(diǎn)移動(dòng)至圖像采集單元坐標(biāo)系原點(diǎn)時(shí)的理