本申請公開了一種光刻機鏡片熱變形分析方法、裝置、電子設備及存儲介質(zhì)，方法包括：根據(jù)光刻機的鏡片結(jié)構(gòu)和裝配結(jié)構(gòu)建立鏡片三維模型和裝配三維模型，所述裝配結(jié)構(gòu)安裝所述鏡片結(jié)構(gòu)；根據(jù)所述鏡片三維模型建立熱分析網(wǎng)格；其中，所述熱分析網(wǎng)格在熱敏感區(qū)...

本發(fā)明提供了一種光刻機物鏡相差檢測溫控裝置，應用于感光芯片，包括工件臺和冷卻通道，工件臺上設有安裝槽，感光芯片固定于安裝槽的槽壁；冷卻通道設于安裝槽內(nèi)且位于感光芯片背離光線的一側(cè)。冷卻通道的至少部分呈螺旋狀，冷卻通道的進口連通于工件臺的...

本申請實施例提供了一種物鏡減振裝置，包括：物鏡阻尼器，物鏡阻尼器的內(nèi)部采用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)在外界振動或溫度變化時提供彈性支撐，以緩沖振動傳遞并降低因熱膨脹效應導致的應力；物鏡阻尼器，上層為物鏡接觸端；下層為框架接觸端，設置用于...

本申請實施例提供了一種環(huán)控氣浴用共振處理方法，在環(huán)控氣浴系統(tǒng)進入加工制造階段前，建立環(huán)控氣浴系統(tǒng)的三維模型，對三維模型進行離散處理；對離散處理后的環(huán)控氣浴系統(tǒng)進行模態(tài)分析，獲取環(huán)控氣浴系統(tǒng)的固有頻率和振型。比較環(huán)控氣浴系統(tǒng)的固有頻率與已...