本發(fā)明公開了一種光分路器耦合對準(zhǔn)面平行的調(diào)整方法，先將PLC芯片固定，然后讓FA旋轉(zhuǎn)一個角度并碰撞PLC芯片，然后再朝相反方向旋轉(zhuǎn)一個角度并碰撞PLC芯片，然后根據(jù)兩次碰撞導(dǎo)致的位移傳感器位移來計算FA相對于PLC芯片的不平行度，最后根...

本發(fā)明涉及一種精密測試技術(shù)及儀器領(lǐng)域，特別涉及一種磁性微位移平臺式角反射鏡激光干涉儀及標(biāo)定方法和測量方法，所述磁性微位移平臺式角反射鏡激光干涉儀，包括有激光源、微動角反射鏡、干涉測量光電探測器、移動角反射鏡、分光鏡組和磁性微位移平臺，所...