本技術(shù)涉及晶圓下片技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種能夠自動下片的晶圓下片裝置。本技術(shù)提供一種能夠自動將晶圓取下，提高晶圓下片效率和晶圓質(zhì)量的能夠自動下片的晶圓下片裝置。一種能夠自動下片的晶圓下片裝置，包括有底座、旋轉(zhuǎn)氣缸、加熱臺和第一支撐架等，底...