本技術涉及高端裝備制造技術領域，提供一種電路板立式左右交換框數字曝光LDI設備以及曝光系統，其包括：支撐座；曝光組件設于支撐座，用于對工件進行曝光；第一框部垂直于或傾斜于支撐座設置，用于安裝工件并使工件垂直或傾斜；第二框部垂直于或傾斜于...

本技術涉及高端裝備制造技術領域，提供一種易于取放電路板的立式數字曝光LDI設備以及曝光系統，其包括：支撐座；曝光組件，豎立設于所述支撐座，用于曝光工件；框架部，所述框架部包括貫穿所述框架部第一表面和第二表面的通孔；所述框架部垂直設置于所...

本技術提供的一種DI光刻機成像鏡頭主動防污染裝置，包含防塵玻璃固定座、防塵玻璃、風刀模塊，防塵玻璃固定座上設置有安裝孔，防塵玻璃設置于安裝孔上，風刀模塊包含風刀主體、閥門，風刀主體包含集氣腔、與集氣腔連通的出氣縫隙，閥門與集氣腔連通，通...

本技術提供的一種提升曝光對位精度的設備，包含機身，機身上設置有進料機構、進料向拍中機構、左側橫向拍中機構、右側橫向拍中機構、若干激光除油墨機構，進料機構用于帶動PCB板沿Y軸方向向前輸送，進料向拍中機構用于將PCB板沿著進料的方向向中間...

本技術提供的一種具有光功率檢測功能的DI光刻機成像鏡頭，包含光處理模塊、成像鏡筒，光處理模塊包含殼體，殼體內部設置有內腔，殼體上設置有光敏器件，光敏器件用于監測內腔中的光線強度。光發生模塊將光線照射到內腔中時，光敏器件可以實時監測到內腔...

本技術提供的一種具有掉板監測功能的PCB移載機構，包含X軸向連接梁、兩個相對設置的夾臂機構，夾臂機構包含沿X軸方向滑動連接在X軸向連接梁上的Y軸向安裝梁、設置于X軸向連接梁上且與Y軸向安裝梁驅動連接的X軸向直線驅動裝置、若干分布在Y軸向...

本技術提供的一種防掉板的PCB移載機構，其特征在于，包含安裝梁、旋轉驅動機構，旋轉驅動機構包含旋轉連接于安裝梁一側轉軸、設置于安裝梁一側用于驅動轉軸旋轉的旋轉驅動裝置，轉軸上固定連接有若干鉤子，安裝梁上固定連接有與鉤子對應設置的頂塊。通...

本發明提供的一種FPC?RTR雙面LD?I機，包含底座、輸料機構、雙面曝光機構；輸料機構包含龍門架、Z軸向連接板、第一Z軸向直線驅動裝置、上定位機構、下定位機構，Z軸向連接板上貫穿設置有曝光窗口；雙面曝光機構包含Y軸向直線驅動機構、相對...

本發明公開了一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置，涉及光刻機應用領域，包括第二箱體，所述第二箱體的內部設置有進風管道和出風管道，且進風管道和出風管道的外部均設置有外凸環、活動接頭和第一彈簧，所述第二箱體的內部轉動連接有正反螺紋桿，且正反...

本發明涉及高端裝備制造技術領域，提供一種易于取放電路板的立式數字曝光LDI設備以及曝光系統，其包括：支撐座；曝光組件豎立設于所述支撐座，用于曝光工件；框架部，豎立于所述支撐座，所述框架部包括貫穿所述框架部第一表面和第二表面的通孔。通過將...

本發明涉及高端裝備制造技術領域，提供一種電路板立式左右交換框數字曝光LDI設備以及曝光系統，其包括：支撐座；曝光組件設于所述支撐座，用于對工件進行曝光；第一框部，所述第一框部豎立于所述支撐座設置，用于安裝工件并使工件豎立；第二框部，所述...