本技術(shù)公開了一種石墨烯納米復(fù)合薄膜沉積裝置，包括圓柱形體、多通道氣體分配器、可旋轉(zhuǎn)基材托盤、氣溶膠噴射模塊及磁控濺射組件，所述圓柱形體的內(nèi)部為真空腔體，所述多通道氣體分配器通過法蘭盤固定安裝在圓柱形體的頂端，所述圓柱形體的底端通過法蘭盤...