本公開涉及一種用于為襯底的表面提供層的化學氣相沉積設備，該設備包括：反應器，該反應器具有用于容納至少一個襯底的室；壓力單元，該壓力單元被配置成在該室的內部部分中產生第一預先確定壓力。該壓力單元包括具有至少一個液環真空泵的第一泵送級，以及...