本發明涉及一種激光設備，尤其是用于切割脆性襯底的脈沖掃描激光器。本發明人提出了一種用于在襯底中形成應力邊緣以劈裂襯底的方法和裝置，為此，通過在用具有固定焦距的聚焦的激光光束在激光光束的成角度的掃描過程期間照射材料期間在材料的主體中的光誘...