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        六安欣奕華半導體材料有限公司專利技術

        六安欣奕華半導體材料有限公司共有1項專利

        • 本申請提供一種聚對羥基苯乙烯樹脂及其制備方法和KrF光刻膠,涉及光刻膠技術領域。本申請提供的聚對羥基苯乙烯樹脂在樹脂基體中引入特定的酰胺類衍生物,此類樹脂與其余添加劑混合,從而形成適用于不同膜厚的具有高分辨率、高靈敏度以及邊緣粗糙度小的...
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