本發(fā)明屬于晶圓制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種PVA滾刷的清洗方法，包括依次進(jìn)行的預(yù)清洗、多模塊協(xié)同清洗和后處理；其中，所述多模塊協(xié)同清洗包括依次進(jìn)行的超聲清洗、化學(xué)浸泡和噴淋沖洗，且所述噴淋沖洗的方式為水流從滾刷內(nèi)桿向外沖洗。本發(fā)明提供的清洗方...