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        寧波捷芯半導體材料有限公司專利技術

        寧波捷芯半導體材料有限公司共有1項專利

        • 本申請公開了一種水平式外延爐,包括氣體輸送單元和外延生長單元,還包括設置在氣體輸送單元內的至少一氣體處理單元,氣體處理單元包括至少一過濾組件和至少一勻速組件,所過濾組件用于去除輸送氣體中攜帶的顆粒污染物,勻速組件上均勻分布有多個氣孔,用...
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