本公開涉及一種用于制造MEMS設備的分層結構的方法、一種作為通過該方法產生的分層結構的分層結構以及一種包括此類分層結構的MEMS設備200。對于該分層結構或該MEMS設備200，在制造過程中使用示例性起始襯底，該起始襯底形成機械有效功能...

本公開涉及一種制造MEMS設備的分層結構的方法、一種通過該方法制造的分層結構以及一種包括該分層結構的MEMS設備200(300、400、500)。對于分層結構，例如，在對功能層3進行結構化之后，在制造過程中提供高溫固化步驟。功能層3的結...