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        PVA技術中心有限公司專利技術

        PVA技術中心有限公司共有1項專利

        • 本發明涉及一種用于將至少一種材料的一個或更多個原子層沉積到基底上的反應器和方法。該反應器包括容納噴淋頭、基臺和至少一個基底支架的反應室。該噴淋頭包括至少一個氣體出口,該至少一個氣體出口被配置為提供至少一種材料的氣流或至少一種材料的至少一...
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