提供一種在正面具有溝槽部的金剛石半導體裝置，其具備金剛石層、設置在所述金剛石層上的金剛石外延層、設置在所述外延層的上方的正面側絕緣膜、以及設置在所述正面側絕緣膜上的正面側電極，所述正面側絕緣膜具有與所述溝槽部的溝槽側壁相接并填充到所述溝...