本技術(shù)的實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在第一半導(dǎo)體襯底上方的第一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)、嵌入在第一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)中并感測(cè)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中的溫度變化的多個(gè)熱傳感器以及設(shè)置在第一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)上并電性耦合到第一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)的第一接合結(jié)構(gòu)。熱傳感器與第一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)的...