本發(fā)明涉及一種能夠容易地調(diào)節(jié)容納并支撐晶片的各機(jī)械手之間的間隔的半導(dǎo)體晶片輸送裝置，該裝置包括：固定機(jī)械手和多個(gè)移動(dòng)機(jī)械手，其分別支撐半導(dǎo)體晶片；固定框架，其為了支撐上述固定機(jī)械手而在一端與上述固定機(jī)械手配合；多個(gè)移動(dòng)框架，其為了使上述...