根據一實施例的用于托盤的磁鐵夾，其用于相互固定可支撐基板下側的下部托盤和可支撐基板上側的上部托盤，可以包括：夾子底座，其固定在所述下部托盤；夾頭，其可旋轉地連接到所述夾子底座，并能夠在固定所述上部托盤的固定位置與從所述上部托盤釋放的釋放...

根據一實施例的濺射裝置，包括：工作臺，以支撐具有細微圖案的基板的狀態旋轉；靶材，與所述基板相對；以及切斷部件，包括配置于所述工作臺及靶材之間的切斷主體，以及形成于所述切斷主體并從所述靶材分離，以使行進至所述基板的成膜材料的至少一部分通過...

根據一實施例的磁控濺射裝置的磁體集合體，其包括：磁軛；電磁體，配置在所述磁軛上，在垂直于所述磁軛的方向上具有不同的磁極；以及永久磁體，以與所述電磁體分隔的方式配置在所述磁軛上，并且，圍繞所述電磁體的至少一部分。

本發明涉及控制可利用在磁控管濺射裝置的磁鐵的系統等，本發明的磁控管濺射裝置的磁鐵控制系統包括：驅動電源部；包括多個磁鐵集合體的磁性產生部；及包括選擇性地能夠控制所述驅動電源部和所述多個磁鐵集合體中一個以上開關的磁性控制部。

根據一個實施例，電磁鐵組件的制備方法可包括以下步驟：制備包含突出部和包圍所述突出部的外圍部的框架；在所述突出部的外周配置線圈來包掩所述突出部；在常溫和常壓下加熱具固體狀態的熱傳導物質使其變為液體狀態；將所述液體狀態的熱傳導物質填充至所述...

本發明涉及可利用在磁控管濺射裝置的磁鐵等，本發明的磁控管濺射裝置的磁鐵結構體包括永久磁鐵；及使圍繞所述永久磁鐵的線。

本發明涉及一種旋轉夾持裝置，其包括：基座；夾持器，可對于所述基座相對地平移運動及旋轉運動；夾件，配置所述夾持器中，用于夾持基板；以及鏈接連桿，用于鏈接所述基座和所述夾持器。

本發明提供一種基板轉移裝置，所述基板轉移裝置包含：托盤，基板安裝在所述托盤上；磁性轉移部分，其安置在所述托盤下方，磁性地使所述托盤懸浮并藉由磁力轉移所述托盤；導引單元，其導引所述托盤的轉移而不接觸所述托盤；以及間隙維持構件，其設在所述磁...