提供一種通過蝕刻來制造元件（１）的方法，該元件包括基片（２）和由基片支持的導電線路結構（３），該導電線路結構是通過局部蝕刻掉由基片支持的導電涂層（９）而形成的。蝕刻掩模（８）用來控制用蝕刻劑局部除去和保留導電涂層，它包括與在蝕刻期間要保...