用于評定晶片邊緣區(qū)域的缺陷的設(shè)備和方法及其使用。公開了一種用于評定該晶片（６）的邊緣區(qū)域中的缺陷的設(shè)備。該評定可自動地執(zhí)行。特別地，該設(shè)備包括三個照相機(jī)（２５，２６，２７），每個都設(shè)置有物鏡（３０），其中，第一照相機(jī)（２５）被布置成與該...