封裝的等離子敏感性器件的制造方法。該方法包括：提供與基材相鄰的等離子敏感性器件；使用選自非等離子基方法或改進的濺鍍方法的方法在該等離子敏感性器件上沉積等離子保護層；和沉積與該等離子保護層相鄰的至少一個阻隔堆疊體，該至少一個阻隔堆疊體包括...

本發明提供一種用于將多層涂層沉積到襯底上的工具。在一種配置中，該工具包括工作在壓力控制或溫度控制環境的至少一種下的直列式有機材料沉積臺。在另外一種配置中，它還是同時包含直列工具和集束型工具特征的混合設計。在后一種配置中，至少一個沉積臺被...