本發(fā)明的目的在于提供一種用于微機(jī)電(MEMS)共振器的改進(jìn)的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，按照本發(fā)明的共振器結(jié)構(gòu)具有與給定的機(jī)械振幅相結(jié)合的特征振蕩頻率，所述共振器結(jié)構(gòu)通過將適于振蕩的第一元件(1)以及適于振蕩的第二元件(2)錨定在位于該...

一種裝置（100），從振動和/或應(yīng)變中采集能量并且使用電容性元件（102a、102b）和壓電元件（105）這兩者。操作原理是平面外電容性采集器，其中用于電容性元件的偏置電壓利用壓電元件（105）產(chǎn)生。該裝置在電容器板（102a、102b...

本發(fā)明涉及用于測量角速度的測量裝置，更具體地，涉及振動微機(jī)械角速度傳感器。在本發(fā)明的角速度傳感器中，質(zhì)量塊支撐于傳感器的框架處。

本發(fā)明涉及一種用于測量角速度的測量儀器，更具體地涉及一種振動型微機(jī)械角速度傳感器。本發(fā)明的角速度傳感器包括至少兩個振動質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)(1)、(2)、激勵結(jié)構(gòu)(3)、(4)以及耦合蹺蹺板式彈簧(6)、(7)。本發(fā)明旨在提供一種改進(jìn)的傳感器結(jié)構(gòu)...

本發(fā)明提供一種微機(jī)械諧振器，其包括兩個質(zhì)量塊，所述兩個質(zhì)量塊沿共同軸的方向通過彈性結(jié)構(gòu)而耦合，所述彈性結(jié)構(gòu)包括用于將連接至質(zhì)量塊的至少第一桿與沿運動軸方向延伸的第二桿耦合的彈簧，所述彈簧布置成沿垂直于運動軸的運動方向的方向彎曲。本發(fā)明還...

本發(fā)明涉及用于測量角速度的測量裝置，更具體地，涉及振動型微機(jī)械角速度傳感器。本發(fā)明的角速度傳感器適于測量相對于兩個軸或三個軸的角速度，并且所述角速度傳感器的至少兩個振動塊體（３４～３６、５２～５３、７１～７５）適于通過共同模式而被激發(fā)至...

本發(fā)明涉及用于測量角速度的測量裝置，更具體地，涉及振動微機(jī)械角速度傳感器。在本發(fā)明的角速度傳感器中，質(zhì)量塊借助于非對稱的彈性結(jié)構(gòu)（１）、（２）、（３）、（４）、（２２）、（２４）支撐于傳感器元件的框架處，以此方式，由彈性結(jié)構(gòu)（１）、（２...

本發(fā)明涉及微機(jī)械諧振器的設(shè)計，更準(zhǔn)確地涉及微機(jī)電系統(tǒng)（ＭＥＭＳ）諧振器的設(shè)計。本發(fā)明提供了一種微機(jī)電系統(tǒng)（ＭＥＭＳ）諧振器的改進(jìn)設(shè)計結(jié)構(gòu)，其中，彈簧元件（３）、（２３～２４）、（２７～３０）的寬度大于電極指（５～９）、（２５～２６）、（...

本發(fā)明涉及一種用于測量角速度的測量裝置，更具體地，涉及振動微機(jī)械角速度傳感器。在本發(fā)明的角速度傳感器的方案中，質(zhì)量塊借助于具有非正交的主軸和次軸的彈性結(jié)構(gòu)被懸掛著，從而在檢測諧振器中引起與主運動同相的測試激發(fā)，并且借助于相位檢測器從主運...

本發(fā)明關(guān)于用于測量物理量如加速度、角加速度或角速度的測量裝置，更精確地是關(guān)于微機(jī)械運動傳感器。本發(fā)明運動傳感器元件的晶片平面內(nèi)的面積小于被方形切割且翻轉(zhuǎn)９０°的運動傳感器元件的面積。相應(yīng)地，本發(fā)明運動傳感器元件（該元件已翻轉(zhuǎn)９０°）的高...

本發(fā)明涉及一種制造硅傳感器結(jié)構(gòu)的方法以及一種硅傳感器。根據(jù)該方法，通過在單晶硅薄片（１０）內(nèi)蝕刻開口來形成至少一個彈簧元件輪廓（７）和至少一個與彈簧元件結(jié)構(gòu)（７）連接的測震質(zhì)量（８）的步驟。根據(jù)本發(fā)明，延伸通過該硅薄片深度的開口和溝槽（...

一種用于加速度測量中的測量裝置，更具體地涉及電容性加速度傳感器。根據(jù)本發(fā)明的電容性加速度傳感器包括支承在旋轉(zhuǎn)軸線（７）處的加速度傳感器的可移動電極（５），在根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器中利用了幾對電極，用根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了對...

一種用于加速度測量中的測量裝置，更具體地涉及電容性加速度傳感器。根據(jù)本發(fā)明的電容性加速度傳感器包括支承在旋轉(zhuǎn)軸線（７）處的可移動電極（５），根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器的該對電極中的電容變化被增強(qiáng)。根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器結(jié)構(gòu)使改進(jìn)基于旋轉(zhuǎn)...

本發(fā)明涉及物理測量中使用的測量設(shè)備并且更具體地涉及電容性傳感器。在根據(jù)本發(fā)明的傳感器中，固定電極（３），（４），（１２），（１７－２０），（２７－２８）的形狀是階梯狀的。借助于本發(fā)明，得到用于制造具有改良線性的電容性傳感器的方法，以及適...

本發(fā)明涉及在測量角速度中使用的測量裝置，并且更具體地，涉及振蕩微機(jī)械角速度傳感器。在根據(jù)本發(fā)明的角速度傳感器中，通過彈簧，或者通過彈簧及剛性輔助結(jié)構(gòu)，使測震質(zhì)量（１，２，３６，３７）附接到支撐區(qū)域，其給予質(zhì)量（１，２，３６，３７）相對于...

本發(fā)明涉及用于測量角速度的測量裝置，并且更具體涉及振蕩微機(jī)械角速度傳感器。在根據(jù)本發(fā)明的角速度傳感器中，關(guān)聯(lián)測震質(zhì)量（１）、（９）、（１０）、（２０）、（３０）、（３１）的邊緣提供至少一對電極，該電極對與質(zhì)量（１）、（９）、（１０）、（...

本發(fā)明涉及用于測量加速度的測量裝置，更具體而言涉及電容式加速度傳感器。本發(fā)明的目的是提供一種改進(jìn)的制造電容式加速度傳感器的方法，并且提供一種電容式加速度傳感器，其適合于在小型電容式加速度傳感器方案中使用，并且特別適合于在測量關(guān)于若干條軸...

本發(fā)明涉及用于測量加速度的測量設(shè)備，并且更特定地涉及微機(jī)械加速度傳感器。本發(fā)明試圖提供使用微機(jī)械加速度傳感器用于測量導(dǎo)向到三個或兩個維度的加速度的改進(jìn)的方法，以及改進(jìn)的微機(jī)械加速度傳感器。使用本發(fā)明，在持續(xù)使用中能夠監(jiān)測傳感器的功能的可...

本發(fā)明涉及微機(jī)電元件，例如用于測量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微機(jī)電測量儀。本發(fā)明的微機(jī)電元件包括由覆蓋部件（２４）、（２８）、（３３）、（４１）、（４７）、（４８）密封的微機(jī)電芯片部件（４６）、（６０）以及至少一個電子電...

本發(fā)明涉及微機(jī)電元件，比如用于測量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微機(jī)電測量儀。本發(fā)明的微機(jī)電元件包括由覆蓋部件（２４）、（２８）、（３３）、（４１）、（４７）、（４８）密封的微機(jī)電芯片部件（４６）以及相稱地相互結(jié)合的電子電路...