本發(fā)明實(shí)施例公開了一種高精度晶圓定位方法，包括：預(yù)先通過控制平移機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)圖像采集裝置采集的圖像數(shù)據(jù)標(biāo)定圖像機(jī)械坐標(biāo)仿射矩陣M；預(yù)先控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)依次旋轉(zhuǎn)至第一角度θ1和第二角度θ2；控制平移機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)圖像采集裝置依次對(duì)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的標(biāo)定圓，并...