本申請公開了一種微機械系統諧振器以及傳感器，該微機械系統諧振器包括襯底、輸入信號端子、輸出信號端子和多個諧振組件；每個諧振組件包括固定電極，設置于襯底上；振動電極，平行且懸空設置于固定電極遠離襯底的一側上方，所述電極在所述襯底上的正投影...

本申請公開了一種微機械結構器件、制作方法以及傳感器，該器件包括晶圓組件、第二晶片和封裝層。第一晶片包括支撐結構和至少一組微機械諧振結構，支撐結構遠離襯底硅片的一側與第二晶片的凹槽一側鍵合，至少一組微機械諧振結構分別與凹槽和襯底硅片之間具...