本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種光柵二維定心微調(diào)機(jī)構(gòu)及工作方法,微調(diào)機(jī)構(gòu)包括機(jī)構(gòu)主體,機(jī)構(gòu)主體表面設(shè)有容納光柵的平臺;機(jī)構(gòu)主體上設(shè)有第一調(diào)節(jié)單元和第二調(diào)節(jié)單元;第一調(diào)節(jié)單元帶動光柵在垂直面轉(zhuǎn)動,調(diào)節(jié)光柵法向面與光路平面之間在垂直面上...