涉及擺式控制閥，設置在工藝腔室與真空泵之間的氣體排出通路，用于開閉所述氣體排出通路，其特征在于，包括：閥本體（110），在上部設置有與所述氣體排出通路相連通的氣體流入口（111），在下部設置有與所述真空泵相連通的氣體排出口（113）；罩...