本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種光束整形透鏡組，以將入射高斯光束擴(kuò)束成在光束橫截面上能量均勻分布的平頂光束；或?qū)⑵巾敼馐s束成高斯光束。本實(shí)用新型包括：由微小透鏡陣列化集成的微透鏡陣列；準(zhǔn)直透鏡組，從左至右依次包括共光軸且等間距設(shè)置...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種新型光學(xué)元件夾持式支架，以實(shí)現(xiàn)安裝拆卸快捷方便且避免損壞光學(xué)元件。本實(shí)用新型夾持式支架包括：以同平面的至少兩個(gè)導(dǎo)向銷軸進(jìn)行活動(dòng)連接的底座和移動(dòng)臂；各所述導(dǎo)向銷軸上套有至少一個(gè)壓縮彈簧，各所述壓縮彈簧的...

本發(fā)明涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種白光干涉系統(tǒng)。本發(fā)明基于P光和S光經(jīng)線性偏振片發(fā)生干涉，其中一個(gè)光臂采用邁克爾遜干涉中常規(guī)的單反射鏡對(duì)光程進(jìn)行調(diào)節(jié)；而在另一個(gè)光臂中，采用多反射鏡組成的反射式光程調(diào)節(jié)器對(duì)光程進(jìn)行調(diào)節(jié)；兩者在結(jié)構(gòu)設(shè)置上，操...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種位移臺(tái)，以防止在光路調(diào)整完畢后，在鎖緊過程中再次導(dǎo)致光束移動(dòng)。本實(shí)用新型位移臺(tái)包括：固定板，固設(shè)有第一導(dǎo)軌；移動(dòng)板，固設(shè)有第二導(dǎo)軌；第一導(dǎo)軌與第二導(dǎo)軌之間設(shè)有用于相對(duì)滑移的橫向連接件；設(shè)于移動(dòng)板上的鎖...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種光學(xué)元件夾持式支架，以實(shí)現(xiàn)安裝拆卸快捷方便且避免損壞光學(xué)元件。本實(shí)用新型夾持式支架包括：底座，設(shè)置有用于放置光學(xué)元件的臺(tái)階槽，并設(shè)有與弧形壓緊臂進(jìn)行旋轉(zhuǎn)連接的圓柱銷；所述弧形壓緊臂的頂部高于所述臺(tái)階槽...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種光學(xué)元件調(diào)整架，以對(duì)各維度進(jìn)行獨(dú)立調(diào)節(jié)、鎖緊，并在避免光學(xué)串?dāng)_同時(shí)，提高操作的便利性和穩(wěn)定性。本實(shí)用新型調(diào)整架包括：支撐架，設(shè)置有平移環(huán)、驅(qū)動(dòng)平移環(huán)向X軸平移的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、以及驅(qū)動(dòng)平移環(huán)向Y軸平移的...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種光學(xué)元件拆裝組件，以將不同規(guī)格光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)快速拆裝更換，并保證其穩(wěn)定性、精密型和可重復(fù)性。本實(shí)用新型組件包括：前板，具開設(shè)光路透孔的容置腔，所述容置腔設(shè)有卡環(huán)以固定厚度能替換的光學(xué)元件；并在面向固定座...

本發(fā)明涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種光控系統(tǒng)及方法，以提高操作的便利性和聯(lián)動(dòng)的智能性。本發(fā)明系統(tǒng)包括：第一光源模塊，用于發(fā)出光刻用的激光；開關(guān)控制器，用于切換第一光源模塊射入偏振控制模塊的光路“開”、“關(guān)”狀態(tài)；偏振控制模塊，用于獲取各像素...

本發(fā)明涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開一種光學(xué)元件調(diào)整架，以對(duì)各維度進(jìn)行獨(dú)立調(diào)節(jié)、鎖緊，并在避免光學(xué)串?dāng)_同時(shí)，提高操作的便利性和穩(wěn)定性。本發(fā)明調(diào)整架包括：支撐架，設(shè)置有平移環(huán)、驅(qū)動(dòng)平移環(huán)向X軸平移的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、以及驅(qū)動(dòng)平移環(huán)向Y軸平移的第二驅(qū)動(dòng)...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)器件構(gòu)造技術(shù)領(lǐng)域，公開一種鏡架及鏡架鎖，以確保鏡片調(diào)節(jié)過程中的靈活性、以及固定過程中的穩(wěn)定性和精細(xì)度。本實(shí)用新型鏡架包括置于光路上的支撐板和安放鏡片的調(diào)整板，還包括：調(diào)整結(jié)構(gòu)，用于向所述調(diào)整板的第一側(cè)面施加作用力，以驅(qū)...

本發(fā)明涉及光學(xué)器件構(gòu)造技術(shù)領(lǐng)域，公開一種鏡架及鏡架鎖，以確保鏡片調(diào)節(jié)過程中的靈活性、以及固定過程中的穩(wěn)定性和精細(xì)度。本發(fā)明鏡架包括置于光路上的支撐板和安放鏡片的調(diào)整板，還包括：調(diào)整結(jié)構(gòu)，用于向所述調(diào)整板的第一側(cè)面施加作用力，以驅(qū)動(dòng)所述調(diào)...