一個實施例提供一種測試濕度的方法，其包括：確定封圍多個干涉式調制器的裝置的性質；和至少部分基于所述確定的性質來確定所述裝置內的相對濕度值或所述相對濕度的程度。在一個實施例中，所述裝置的所述性質包含以下中的一者：ｉ）所述裝置的重量，ｉｉ）...

在一實施例中，本發明提供一種ＭＥＭＳ裝置。所述ＭＥＭＳ裝置包含：復數個功能性組件，所述功能性組件包括至少一個可移動組件；和一犧牲組件，以至少減少運送所述微機電系統裝置期間所述可移動組件的移動，其中可在運送后去除所述犧牲組件。