一種閥，尤其是真空閥，該閥具有用于關閉開口（3）的關閉元件（2）和用于在開啟位置和關閉位置之間移動關閉元件（2）的閥驅動器，關閉元件在該開啟位置開啟開口（3），關閉元件（2）在該關閉位置關閉開口（3），其中，該閥驅動器具有至少兩個能樞轉...

本發明涉及一種同步銷釘提升裝置，同步銷釘提升系統包括至少一個第一銷釘提升裝置，其包括第一氣動致動器，具有第一氣動缸和第一移動件。該系統包括第一控制閥，控制第一氣動致動器的加壓和/或流體流，以提供第一移動件的移動；第一流體傳感器，測量第一...

本發明涉及一種用于閥的閥閉合件的密封件(10)，其具有帶有緊固體(22)的緊固區域(21)和用于為該閥的閥開口提供密封的密封區域(11)，緊固區域(21)和該密封區域(11)相互連接。該密封件(10)在密封區域(11)中具有密封唇(12...

本發明涉及一種用于將流體受控地送入真空工藝腔室的氣體入口閥(1)，其中，該氣體入口閥(1)包括：具有內部容積(23)的氣體流動單元(2)，其中，氣體流動單元在該內部容積(23)中具有密封面(24)；伸入該內部容積(23)中并具有閥盤(3...

用于計量系統(1)的控制和處理單元(40)，計量系統(1)包括至少第一傳感器(10)，第一傳感器(10)包括膜(12)、膜(12)的懸架(13)、底部晶片(21)以及形成在膜(12)與底部晶片(21)的至少一部分之間的腔體(30)。計量...

一種加熱裝置(1)，其具有加熱板(2)，用于在真空腔室(4)中加熱工件(3)、特別是晶圓，其中，所述加熱板(2)具有承載層(5)，所述承載層具有上側面(6)，所述工件(3)為了被加熱能夠布置在所述上側面上或上方，并且所述加熱裝置(1)具...

本發明涉及真空閥(1)，具有閥座(3,3b)、關閉組件(10)和連接到關閉組件(10)的驅動單元(7)，其中，關閉組件(10)具有帶有第一連接側的載體元件(20)和帶有第二連接側的關閉板(30,40)，并且第一和第二連接側被設計成將載體...

本發明涉及一種用于控制流體進入真空處理腔室的進氣閥，其中進氣閥(1)包括：氣體通道單元(2)，其中該氣體通道單元在內部容積(23)中具有密封表面(24)；具有調節單元(31)的調節裝置(3)，其中調節單元(31)伸入內部容積(23)中并...

一種閥（1），具有閥桿和布置在所述閥桿上的用于關閉閥開口（4）的關閉構件（3），其中，所述關閉構件（3）能夠在關閉位置與最大打開位置之間借助所述閥桿僅僅直線地沿著平行于所述閥桿的縱向延伸部的方向移動，并且所述閥（1）具有閥驅動器（7），...

一種用于確定調控閥的調控裝置的校正值的方法，其中，所述調控閥對流經腔室的流體流進行調控，并且，由所述調控裝置將所述調控閥的封閉構件通過所述調控閥的調節驅動裝置相對于用于所述流體流的流動開口布置在彼此不同的位置，其中，設置特別是所述調控閥...

一種閥(1)，特別是真空閥，其用于計量通過通流口(2)的體積流量，其中，所述閥(1)閥盤(3)具有用于在閥(1)的關閉位置中封閉通流口(2)和至少兩個分別縱向延伸的閥桿(4，5)，其中，所述閥桿(4，5)在彼此隔開距離的部位處固定在所述...

一種閥(1)、特別是真空閥，其用于計量通過通流口(2)的體積流量，其中，所述閥(1)具有用于在所述閥(1)的關閉位置中封閉通流口(2)的閥盤(3)和至少兩個分別縱向延伸的閥桿(4，5)，其中，所述閥桿(4，5)在彼此隔開距離的部位處固定...

本發明涉及一種泵和用于真空過程的通風系統，用于處理物體的真空系統至少包括可抽空的真空體積、第一真空閥、第二真空閥、以真空體積內的實際壓力可用壓力傳感器來確定的方式連接至真空體積、連接至第一真空閥、第二真空閥和壓力傳感器的調節和控制單元。...

一種用于氣密中斷流路的真空閥(10)，具有：閥殼體(11)，它具有在第一軸線(12')方向上的第一端口(12)和在第二軸線(13')方向上的第二端口(13)和閥座(16)。真空閥還具有閥板(17)、驅動單元(30)和用于控制閥板(17)...

提供了一種真空閥系統(10)，包括閥座機構，其具有閥開口、圍繞閥開口的第一閥座和圍繞閥開口的第二閥座，用于基本上氣密關閉閥開口的且具有第一密封面和第二密封面的關閉部件(20)和用于提供關閉部件(20)相對于閥座機構的運動以致關閉部件(2...

擺閥(10)具有帶有第一密封面的閥座和帶有對應于第一密封面的第二密封面的閥關閉件(14)，其中，閥關閉件借助驅動單元(19)可繞樞轉軸線(R)樞轉地安裝。擺閥(10)具有校準面和用于確定位置傳感器與校準面之間距離的位置傳感器，其中，位置...

一種閥(1)、特別是真空閥，其具有閥殼體(2)和用于封閉閥開口(4)的封閉構件(3)，并且所述閥具有用于使所述封閉構件(3)在關閉位置和打開位置之間來回移動的閥驅動器(5)，在所述關閉位置中，所述封閉構件(3)封閉所述閥開口(4)，在所...

真空處理系統(1)包括真空室(10)、可控流體施加裝置(30)以及控制和/或調節單元(40)，可控流體施加裝置(30)連接到真空室(10)并且被配置為以受控的方式提供流體到真空室(10)中的流入，控制和/或調節單元(40)用于至少控制可...

本發明涉及一種用于調控容積流量或質量流量和/或用于封閉和打開閥開口(2)的真空閥(1)，其包括閥座、閥封閉件(4)和驅動單元(7)，該驅動單元聯接到閥封閉件(4)并且被設計成提供閥封閉件(4)的移動，使得閥封閉件(4)能夠從打開位置(O...

一種用于真空密封地封閉壁(3)中的開口(2)的封閉裝置，具有用于封閉和打開所述開口(2)的閥板(1)，該閥板通過連接裝置與閥桿(4)連接。所述連接裝置具有活節頭(16)，所述活節頭的外表面的至少一部分設計成球面形狀，并且所述活節頭布置在...