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        恩特格里斯公司專利技術(shù)

        恩特格里斯公司共有637項專利

        • 描述濾筒、過濾設(shè)備及涉及濾筒的相關(guān)方法,所述濾筒包含筒支撐件,所述筒支撐件包含定心表面、螺旋股或兩者。螺旋股或兩者。螺旋股或兩者。
        • 本申請案涉及用于試劑的存儲及輸送的容器及方法,且特定來說,本申請案涉及一種用以容納試劑材料的存儲容器。所述存儲容器包含:容器,其具有底部、頂部、所述頂部處的出口、從所述底部延伸到所述頂部的側(cè)壁、所述出口處的閥,以及由所述底部、所述頂部及...
        • 一種遞送系統(tǒng)包含:手持式電動升降機,其經(jīng)配置以提升至少一個汽化器容器;及機柜,其經(jīng)配置以固持所述至少一個汽化器容器。所述升降機包含長形桅桿、附接到所述桅桿的效應(yīng)器、經(jīng)配置以移動所述升降機的處置器,及至少一個腳輪。所述效應(yīng)器由電源控制以沿...
        • 本發(fā)明揭示一種襯底容器,其包含界定內(nèi)部空間的殼體及具有進口及氣體分配表面的歧管。所述殼體包含前開口、底壁及后壁。所述歧管附接到所述底壁且更靠近所述前開口而非所述后壁。所述氣體分配表面經(jīng)配置以將凈化氣體分配到所述內(nèi)部空間中。一種凈化開口襯...
        • 一種遞送系統(tǒng)包含:手持式電動升降機,其經(jīng)配置以提升至少一個汽化器容器;及機柜,其經(jīng)配置以固持所述至少一個汽化器容器。所述升降機包含長形桅桿、附接到所述桅桿的效應(yīng)器、經(jīng)配置以移動所述升降機的處置器,及至少一個腳輪。所述效應(yīng)器由電源控制以沿...
        • 本申請涉及包括含碳材料的液體純化膜和其形成方法。提供了多孔聚合濾膜,所述膜包含在其中混合有至少一種含碳材料的聚合物。所述膜能夠從液體組合物去除痕量的各種雜質(zhì),包括金屬離子、酸、堿和有機污染物。堿和有機污染物。堿和有機污染物。
        • 本發(fā)明提供一種方法,用于(a)蝕刻Al2O3、HfO2、ZrO2、W、Mo、Co、Ru、SiN或TiN的膜,或(b)將鎢沉積于選自Al2O3、HfO2、ZrO2、W、Mo、Co、Ru、Ir、SiN、TiN、TaN、WN及SiO2的膜的表...
        • 本申請涉及具有氟化釔涂層的襯底,以及制備和使用所述襯底的方法。描述襯底,其包含:高縱橫比表面和非高縱橫比表面、至少兩個涂層,一個涂層位于高縱橫比表面處且第二涂層位于非高縱橫比表面處,且具有氟化外表面;制備這些涂層的方法;以及包含所述涂層...
        • 本申請涉及用于在等離子體系統(tǒng)中使用的室組件的表面涂層。本發(fā)明公開了用于等離子體組件的表面涂層,所述表面涂層的益處是針對侵蝕性(例如,基于氟的)等離子體環(huán)境中的化學(xué)和等離子體物理侵蝕的穩(wěn)固性。與其他已知的表面處理相比,所述涂層還提供用于活...
        • 本申請案涉及一種液體過濾設(shè)備。描述液體過濾器設(shè)備,其包含:外殼;內(nèi)部,其在所述外殼內(nèi);筒組合件(另稱為“濾筒”),其容納于所述外殼內(nèi);及通氣孔,其允許氣態(tài)流體從所述外殼的內(nèi)部釋放到所述外殼的外部。內(nèi)部釋放到所述外殼的外部。內(nèi)部釋放到所述...
        • 一種氣體儲存和分配容器包含儲存器皿、第一氣體壓力調(diào)節(jié)器和第二氣體壓力調(diào)節(jié)器。所述儲存器皿配置成容納加壓氣體。所述氣體儲存和分配容器具有用于排放所述加壓氣體的排放流動路徑。所述第一氣體壓力調(diào)節(jié)器設(shè)置在所述儲存器皿內(nèi),并且所述第二氣體壓力調(diào)...
        • 本發(fā)明公開一種光罩盒,其包含:內(nèi)部部分,其包含蓋及基底板;及外部部分,其包含盒圓頂及盒門。所述盒門包含閂鎖,及可經(jīng)驅(qū)動以在操作所述閂鎖時移動的一或多個可移動柱。所述基底板包含可被所述可移動柱接觸的可移動光罩接觸件。所述可移動柱與所述可移...
        • 本申請涉及調(diào)節(jié)器組合件及流體供應(yīng)容器。可使用經(jīng)選擇以具有約為從包含調(diào)節(jié)器組合件的流體存儲及輸送容器分配的選定流體的分子量的分子量的測試流體來測試調(diào)節(jié)器組合件。所述測試流體可為單種氣體或混合物。所述測試流體可具有在從所述流體存儲及輸送容器...
        • 一種消防安全容器包含金屬外包裝內(nèi)的聚合物聚合IBC。所述金屬外包裝包含包圍多個端口的人孔。每一端口在所述聚合IBC的突起上,所述突起穿過孔徑延伸到所述人孔中。套環(huán)經(jīng)安置于每一孔徑中在所述聚合IBC的所述突起與所述孔徑的側(cè)之間,使得所述端...
        • 一種光罩盒包含外部分及內(nèi)部分,所述外部分包含盒門及盒圓頂,所述內(nèi)部分包含底板及蓋。所述底板或所述蓋中的一者包含朝向所述底板或所述蓋中的另一者延伸的光罩隔室壁。所述光罩隔室壁包含一或多個保持特征。所述盒門或所述盒圓頂包含經(jīng)配置以接觸所述保...
        • 汽化器容器包括一或多個試劑支撐面板,所述試劑支撐面板在豎直定向上,例如當(dāng)填充所述汽化器容器時,用作所述容器的內(nèi)部空間的分隔物,而當(dāng)旋轉(zhuǎn)到水平定向時,所述面板支撐置于由所述面板和所述容器的內(nèi)壁形成的一或多個腔室中的可汽化固體材料并能夠?qū)?..
        • 本申請案涉及一種吸盤底座。具有所述吸盤底座的所述靜電吸盤用于在加工工件的步驟期間支撐所述工件。所述靜電吸盤底座組件通過增材制造技術(shù)制備。材制造技術(shù)制備。材制造技術(shù)制備。
        • 描述了由含鎂金屬制成且在主體表面處形成有氟化鎂表面鈍化區(qū)域的金屬體,以及在金屬體的表面處形成氟化鎂表面鈍化區(qū)域的方法,和所述主體的用途。所述主體的用途。所述主體的用途。
        • 本實用新型涉及一種連接組合件及一種歧管。所述連接組合件穩(wěn)健地抵抗工藝干擾、尤其是水錘且包含歧管,所述歧管具有上部板、第一支撐件及第二支撐件、杠桿以及軸件。所述第一支撐件及所述第二支撐件各自包含孔口,其中所述軸件連接到所述第一支撐件及所述...
        • 本發(fā)明描述有效抑制固體材料中存在的雜質(zhì)自所述固體材料的表面流動和釋放的擴散阻障,以及表面上具有擴散阻障的物品,制備表面上包括擴散阻障的物品的方法,包括表面上具有擴散阻障的物品的設(shè)備,和使用所述物品和設(shè)備的方法;所述擴散阻障包括至少兩種不...