本實用新型涉及一種復(fù)合膜和一種過濾器。具體地，本實用新型涉及一種通過層壓兩個或更多個單獨(dú)的多孔聚合物層而形成的復(fù)合膜，以及一種用于層壓的方法和系統(tǒng)。有利地，所得復(fù)合材料是單層，所述單層難以分離成其組成層，但又有效地維持了所述組成層未被層...

本實用新型涉及一種靜電卡盤組合件。本實用新型描述了在處理工件的步驟期間用以支撐所述工件的靜電卡盤，所述靜電卡盤包含由多個經(jīng)沉積層制成的凸起，所述層包含類金剛石碳層及含有基于硅的材料的層，例如碳化硅層。例如碳化硅層。例如碳化硅層。

本申請案涉及用于從胺中去除金屬物種的膜。本公開內(nèi)容涉及從流體中去除金屬污染物，以及用于實施此類方法的配體改性過濾材料。本公開的過濾器及方法對于從包含胺的液體組合物中去除金屬特別有效。此類金屬量明顯減少的液體組合物可用于微電子制造工藝，例...

本申請涉及用于生產(chǎn)純化水的過濾膜、系統(tǒng)和方法。描述用于生產(chǎn)純化(例如，超純)水的過濾膜、相關(guān)系統(tǒng)和相關(guān)方法，包含制備將可用于制造電子和半導(dǎo)體裝置的過程中的純化水的膜、系統(tǒng)和方法。系統(tǒng)和方法。系統(tǒng)和方法。

本申請案涉及一種過濾器及一種過濾器與歧管系統(tǒng)。自鎖到過濾器歧管的所述過濾器包含在平面圖中具有長軸及短軸且沿著所述長軸比沿著所述短軸長的凸緣。所述過濾器進(jìn)一步包含在所述長軸上的止擋器，所述止擋器可在所述過濾器插入到過濾器歧管中且旋轉(zhuǎn)時接觸...

用于在晶片載體中使用的晶片緩沖器包含彈性梁，所述彈性梁包含：第一臂，其沿第一方向從所述晶片緩沖器的框架延伸；及第二臂，其沿第二方向從所述第一臂延伸；及晶片接觸件，其位于所述第二臂的與所述第二臂結(jié)合到所述第一臂之處相對的端處。在正常條件期...

本發(fā)明提供可用于氮化硅材料相對于多晶硅、氧化硅材料及/或硅化物材料從其上具有這些材料的微電子裝置的選擇性去除的組合物。本發(fā)明的組合物特別可用于3DNAND結(jié)構(gòu)的蝕刻。發(fā)明的組合物特別可用于3DNAND結(jié)構(gòu)的蝕刻。發(fā)明的組合物特別可用于3...

本發(fā)明描述一種用于離子植入的系統(tǒng)及方法，其包含：氣體或包含至少一種可離子化氣體的氣體混合物，其用來產(chǎn)生離子物種；及電弧室，其包含兩種或更多種不同電弧室材料。使用所述系統(tǒng)，在具有襯墊組合的所述電弧室中產(chǎn)生離子物種，且一或多個所要離子物種顯...

本申請案涉及一種靜電卡盤組合件及一種用于制備所述靜電卡盤組合件的方法。本發(fā)明描述了在處理工件的步驟期間用以支撐所述工件的靜電卡盤，所述靜電卡盤包含由多個經(jīng)沉積層制成的凸起，所述層包含類金剛石碳層及含有基于硅的材料的層，例如碳化硅層。例如...

本實用新型提供靜電放電緩解裝置及一種流體回路。在一或多個實施例中，所述靜電放電緩解裝置是用以將靜電荷從導(dǎo)電聚合物管道轉(zhuǎn)移到導(dǎo)電聚合物操作組件的導(dǎo)電插入件。移到導(dǎo)電聚合物操作組件的導(dǎo)電插入件。移到導(dǎo)電聚合物操作組件的導(dǎo)電插入件。

本發(fā)明提供一種制備鉬和鎢氧鹵化物化合物的方法，所述氧鹵化物化合物適用于將含有鉬和鎢的薄膜沉積于微電子裝置的各個表面上。在本發(fā)明方法中，在固態(tài)介質(zhì)中或在包含有包含堿金屬鹽和/或堿土金屬鹽的共晶摻合物的熔融相反應(yīng)中加熱三氧化鉬或三氧化鎢。由...

本發(fā)明描述制造方法及根據(jù)所述方法制造的存儲單元。通過包括含有MgO的阻隔層，所述制造具有更低的熱預(yù)算且經(jīng)歷更少的加熱。所述制造方法可包括在沉積所述MgO后退火，其中所述退火在低于900℃或低于800℃的溫度下發(fā)生。所述阻隔層可為由SiO...

本文中描述用于發(fā)動機(jī)的密封組合件的技術(shù)，所述密封件具有圓形碳石墨配合表面及圓形載體配合表面。所述圓形載體配合表面的平坦面包含圓形斜面，其可經(jīng)配置以接收可移除環(huán)形嵌件。當(dāng)插入到所述圓形斜面中時，所述環(huán)形嵌件與所述圓形碳石墨配合表面的平坦面...

本發(fā)明描述在真空腔室中使用的多孔保護(hù)襯墊，所述襯墊由無機(jī)碳質(zhì)材料制成并具有多孔表面，優(yōu)選地其中孔隙具有開孔結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地其中孔隙具有開孔結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地其中孔隙具有開孔結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明涉及一種用于晶片載體的把手，所述把手包含：可插入部件，其經(jīng)配置以插入到所述晶片載體的孔隙中；及鎖定機(jī)構(gòu)，其可相對于所述可插入部件移動。當(dāng)在接合狀態(tài)時，所述可插入部件的突片將所述可插入部件保持在所述孔隙中。當(dāng)在鎖定狀態(tài)時，所述鎖定機(jī)...

本實用新型涉及多孔燒結(jié)金屬體。描述多孔燒結(jié)金屬體及通過增材制造方法而制作多孔燒結(jié)金屬體的方法。結(jié)金屬體的方法。結(jié)金屬體的方法。

本發(fā)明描述使用激光能量從例如多孔表面的表面移除粒子的方法，任選地不對所述表面造成消融。成消融。成消融。

本發(fā)明公開一種靜電放電管片段，其包含多孔非導(dǎo)電內(nèi)表面及鄰近導(dǎo)電聚合物部分。所述導(dǎo)電聚合物部分經(jīng)配置以將通過行進(jìn)通過所述管片段的帶電流體產(chǎn)生的靜電荷轉(zhuǎn)移到接地使得可緩和靜電放電。可緩和靜電放電。可緩和靜電放電。

本申請案涉及連接組合件及過濾器組合件。一種連接組合件包含經(jīng)配置以附接可移除式筒及具有凸緣的連接器管的歧管。所述凸緣經(jīng)安置在所述歧管的上板與下板之間且具有防止所述連接器管以大于最大傾斜角的角度傾斜的寬度。所述連接器管經(jīng)配置以被插入到所述可...

本實用新型涉及多孔聚合薄膜以及相關(guān)過濾器。本實用新型描述：多孔聚合薄膜，其包含兩個相對側(cè)且穿過所述薄膜的厚度具有可變孔隙結(jié)構(gòu)；過濾組件及過濾器，其包含此類型的多孔聚合薄膜；制作所述薄膜、所述過濾組件及所述過濾器的方法；及使用所述聚合過濾...