本發(fā)明描述了用組成氣體來(lái)填裝氣體混合物供應(yīng)容器以得到精確組成的氣體混合物的方法，其中所述氣體混合物包含至少兩種組成氣體。可以采用級(jí)聯(lián)填裝技術(shù)，包括使氣體從單個(gè)源容器流至多個(gè)目標(biāo)容器，或從多個(gè)源容器流至單個(gè)目標(biāo)容器。所述方法可用以形成用于...

用于確定流體供應(yīng)容器的終點(diǎn)的裝置和方法，其中當(dāng)建立流體流動(dòng)時(shí)采用一個(gè)靜態(tài)流動(dòng)限制設(shè)備和一個(gè)選擇性可致動(dòng)閥元件，控制流體流動(dòng)通過位于所述流體供應(yīng)容器的內(nèi)部容積中的流動(dòng)通道。終點(diǎn)確定可用于終止來(lái)自所述流體供應(yīng)容器的流體供應(yīng)和/或從一個(gè)流體耗...

描述了一種光電檢查系統(tǒng)，可用于流體分配閥的質(zhì)量保證測(cè)定，所述流體分配閥如被安裝在流體存儲(chǔ)和分配容器上，以及描述了相關(guān)聯(lián)的方法和非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)存儲(chǔ)用于這樣的質(zhì)量保證測(cè)定的機(jī)器可執(zhí)行指令。所述光電檢查適用于流...

本發(fā)明的氣體凈化過濾器單元(10)包含：去除由臭氧產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的臭氧所含的雜質(zhì)中的氣體成分的雜質(zhì)的第一去除部(11)、及配置在該第一去除部的后段且自去除了氣體成分的雜質(zhì)中進(jìn)而去除固體微粒子的雜質(zhì)的第二去除部(12)。通過自所述氣體凈化過...

本發(fā)明涉及具有加強(qiáng)特征的凈化匣。一個(gè)實(shí)施例涉及一種具有張力部件的凈化匣。凈化系統(tǒng)可包含界定介質(zhì)腔的可移除式匣。一組張力部件可跨越在第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間。所述組張力部件可將所述介質(zhì)腔分為多個(gè)腔道。

本發(fā)明涉及使用用于凈化包含例如用于半導(dǎo)體制造的液體的可移除式凈化器匣的模塊化凈化系統(tǒng)。凈化系統(tǒng)可包含可移除式凈化器匣，其具有凈化器入口端口及凈化器出口端口；及歧管組合件。所述歧管組合件可包含多個(gè)連接系統(tǒng)以提供歧管端口以提供流體往返于所述...

本發(fā)明涉及用于流體連接的連接系統(tǒng)。甚至更特定地說(shuō)，一些實(shí)施例涉及搭配半導(dǎo)體制造流體使用的流體連接。所述連接系統(tǒng)使用連接螺母(110)，通過利用所述螺母(110)中的多頭螺紋，連接螺母(110)旋轉(zhuǎn)小于360度即可密封流體接頭(112、1...

一種流體供給封裝包，包括：一個(gè)壓力調(diào)節(jié)流體貯存和分配容器，一個(gè)閥頭，適于分配來(lái)自該容器的流體，以及一個(gè)抗壓力尖峰組件，適于對(duì)抗在流體分配的初期來(lái)自所述閥頭的流體的流動(dòng)中的壓力尖峰。

一種用于分配超高純度的化學(xué)試劑的供給器皿，包括限定了能封閉的內(nèi)部容積的金屬容器，所述金屬容器包括內(nèi)部表面結(jié)構(gòu)，其中所述內(nèi)部表面結(jié)構(gòu)被涂覆有超高純度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂層。這樣的供給器皿例如可被利用于儲(chǔ)存超高純度的化學(xué)試劑，并且用于將...

本發(fā)明揭示微孔膜復(fù)合體。這些微孔膜復(fù)合體經(jīng)甲醇與水的溶液潤(rùn)濕且在水中經(jīng)受高壓釜處理后具有非去濕性。所述微孔膜復(fù)合體包括微孔膜載體，所述微孔膜載體在表面和孔上包括涂層，所述涂層包括具有酸性親水性基團(tuán)的非晶形離聚物，所述微孔膜復(fù)合體在水中經(jīng)...

本發(fā)明涉及用于過濾液體的模塊化過濾卡匣，例如，所述液體包含用于半導(dǎo)體制造中的液體。過濾器殼體可界定濾腔，其包括上游部分及下游部分。所述過濾器可進(jìn)一步包括設(shè)置于所述濾腔中的過濾元件。所述過濾元件可至少部分覆蓋所述過濾元件的第一側(cè)上的過濾器...

本發(fā)明涉及一種模塊化過濾系統(tǒng)，其使用可移除過濾器卡匣來(lái)過濾包含(例如)用于半導(dǎo)體制造中的液體的液體。過濾系統(tǒng)可包含：可移除過濾器卡匣，其具有過濾器入口端口及過濾器出口端口；過濾器卡匣固持器，其經(jīng)配置以接納及保持所述過濾器卡匣；及主組合件...

本發(fā)明揭示非去濕性微孔膜復(fù)合體。這些微孔膜復(fù)合體經(jīng)甲醇與水的溶液潤(rùn)濕且在水中經(jīng)受高壓釜處理后具有非去濕性。所述微孔膜復(fù)合體包括涂覆有包括親水性基團(tuán)的交聯(lián)離聚物的微孔膜載體。與所述微孔膜載體相比，所述微孔膜復(fù)合體具有小于82％的平均異丙醇...

本發(fā)明實(shí)施例包括液體過濾構(gòu)件，其包括上覆于微多孔薄膜上的聚合物納米纖維層。所述過濾構(gòu)件的壓降與所述微多孔薄膜的壓降大體上相同或比其小，且在表面活性劑存在下，所述過濾構(gòu)件的粒子保留大于在相同測(cè)試條件下僅所述微多孔薄膜的粒子保留。

一種前部開口的晶片容器（３０）具有帶透明殼體的容器部分（３２）和關(guān)閉開口的前部的門（３４）。容器部分（３２）在殼體底部上具有機(jī)械接口，如運(yùn)動(dòng)偶接器（５６），以及在殼體頂部處的插口（７３），以容納附件，尤其是機(jī)器人提升凸緣或適配器板（５０...

一種晶片容器，其具有與門尺寸相適應(yīng)的接收支架。門（９４）包括閉鎖聯(lián)動(dòng)裝置（２５０、２５２），其使得閉鎖部分從門延伸、上升、下降、退回，進(jìn)入門支架中的閉鎖插座（１５０），或者從閉鎖插座（１５０）中退出。各閉鎖機(jī)構(gòu)采用具有連接手柄（１７０、...