本申請(qǐng)涉及一種具有多個(gè)褶包的使用點(diǎn)或分配點(diǎn)過濾器。實(shí)施例提供一種具有大體矩形、非圓柱形輪廓的過濾器。所述過濾器可具有定位于褶蓋之間的多個(gè)褶包，所述褶蓋在過濾器主體的腔中界定區(qū)域及流動(dòng)通道。所述褶蓋具有允許流體經(jīng)由并聯(lián)流動(dòng)或串聯(lián)流動(dòng)而流動(dòng)...

本申請(qǐng)涉及聚合物過濾膜及包括其的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：聚合物過濾膜、離子交換樹脂和源水流。所述聚合物過濾膜包括多孔聚合物基膜，及具有附著到所述聚合物基膜的三個(gè)或更多個(gè)羥基的氨基多元醇配體。所述源水流通過所述聚合物過濾膜和所述離子交換樹脂。...

本發(fā)明公開一種固體輸送安瓿，其包含界定內(nèi)部空間的安瓿主體。所述內(nèi)部空間容納一或多個(gè)固體支撐件，且每一固體支撐件經(jīng)配置以支撐一定數(shù)量的升華固體。所述固體輸送安瓿還包含蒸汽出口端口、一或多個(gè)液位傳感器端口及一或多個(gè)液位傳感器。所述一或多個(gè)液...

本申請(qǐng)實(shí)施例涉及使用鎵的離子植入工藝及設(shè)備。本發(fā)明描述一種用于離子植入的離子源設(shè)備，其包含：離子源腔；及可消耗結(jié)構(gòu)，其在所述離子源腔中或與所述離子源腔相關(guān)聯(lián)，其中所述可消耗結(jié)構(gòu)包含固體摻雜劑源材料，所述固體摻雜劑源材料易于與反應(yīng)氣體反應(yīng)...

本申請(qǐng)案涉及一種通過增材制造來制備的靜電吸盤以及相關(guān)方法及結(jié)構(gòu)。描述用于在加工工件的步驟期間支撐所述工件的靜電吸盤以及通過增材制造技術(shù)制備的靜電吸盤底座組件。通過增材制造技術(shù)制備的靜電吸盤底座組件。通過增材制造技術(shù)制備的靜電吸盤底座組件。

本文中描述了一種發(fā)動(dòng)機(jī)密封件及密封件，所述密封件具有圓形碳石墨配合表面及圓形載體配合表面。所述圓形載體配合表面的平坦面包含圓形斜面，其可經(jīng)配置以接收可移除環(huán)形嵌件。當(dāng)插入到所述圓形斜面中時(shí)，所述環(huán)形嵌件與所述圓形碳石墨配合表面的平坦面配...

本發(fā)明提供一種用于改良氮化物蝕刻相對(duì)于氧化物蝕刻的選擇性的組合物及方法且可與常規(guī)磷酸濕式蝕刻組合物一起使用。本發(fā)明描述用于抑制硅、氧化物及相關(guān)化合物再生長(即再沉積)于氧化硅表面上的添加劑。在某些實(shí)施例中，本發(fā)明提供結(jié)合到三烷氧基硅烷的...

本申請(qǐng)案涉及用于靜電卡盤的螺旋多相電極。靜電卡盤包含各自具有圍繞所述靜電卡盤的表面的中心的螺旋形狀的多個(gè)電極，以提供多相靜電卡盤。各電極可連接到不同相位的電力。所述螺旋形狀可各自相互避開以及避開所述靜電卡盤中的所述表面中的孔或開口。所述...

本申請(qǐng)案涉及用于酸敏感溶劑的膜及其用途。本公開提供對(duì)實(shí)行移除流體組合物中的金屬及金屬離子污染物有用的某些強(qiáng)陽離子改性離子交換樹脂及膜。具有顯著減少量的金屬的經(jīng)過濾液體組合物、例如用于移除光致抗蝕劑的液體可用于微電子制造工藝中。本公開的陽...

本實(shí)用新型涉及過濾器和多孔過濾膜。提供了在過濾液體和去除其中的各種污染物方面有用的某些膜。在某些方面，所述膜的一種組分是聚酰胺，例如尼龍11和/或尼龍12。還提供了制造此類膜的方法以及此類膜在液體過濾和純化中的用途。與由尼龍6或尼龍6,...

本發(fā)明涉及使用多種前驅(qū)物氣體的等離子體浸漬離子植入方法，特別是出于相對(duì)于在植入過程中也植入工件內(nèi)的其它原子物種，控制植入所述工件內(nèi)的特定原子摻雜劑物種的量的目的。所述工件內(nèi)的特定原子摻雜劑物種的量的目的。所述工件內(nèi)的特定原子摻雜劑物種的...

本實(shí)用新型涉及復(fù)合多孔過濾膜及過濾器。本實(shí)用新型提供可用于從液體去除各種雜質(zhì)的特定復(fù)合膜。在某些方面，所述復(fù)合膜包括其上涂有聚酰胺的疏水性聚合物，且在其它方面，此類復(fù)合膜上面涂有某些丙烯酸聚合物。所述復(fù)合膜可用于去除液體中的各種雜質(zhì)，例...

本申請(qǐng)案涉及一種多孔聚乙烯濾膜以及相關(guān)過濾器及相關(guān)方法。本發(fā)明描述：多孔濾膜，其包含兩個(gè)對(duì)置側(cè)、厚度及所述對(duì)置側(cè)之間的多孔結(jié)構(gòu)；過濾器組件及過濾器，其包含此類型的多孔濾膜；通過共擠壓技術(shù)制造所述多孔聚乙烯濾膜、過濾器組件及過濾器的方法；...

本申請(qǐng)案涉及一種液體過濾設(shè)備及一種使用液體過濾設(shè)備過濾液體的方法。描述液體過濾器設(shè)備以及相關(guān)方法，所述液體過濾器包含：外殼；內(nèi)部，其在所述外殼內(nèi)；筒組合件(另稱為“濾筒”)，其容納于所述外殼內(nèi)；及通氣孔，其允許氣態(tài)流體從所述外殼的內(nèi)部釋...

本申請(qǐng)案涉及一種液體過濾設(shè)備及一種使用液體過濾設(shè)備過濾液體的方法。描述液體過濾器設(shè)備以及相關(guān)方法，所述液體過濾器設(shè)備包含：外殼；內(nèi)部，其在所述外殼內(nèi)；筒組合件(另稱為“濾筒”)，其容納于所述外殼內(nèi)；及通氣孔，其允許氣態(tài)流體從所述外殼的內(nèi)...

本申請(qǐng)涉及涂覆有抗裂氟退火膜的制品及制造方法。提供與具有優(yōu)異的抗等離子體蝕刻性且可延長RIE組件的使用壽命的涂層相關(guān)的制品及方法。制品具有真空兼容襯底及覆蓋所述襯底的至少一部分的保護(hù)膜。所述膜包括含釔的氟化金屬氧化物，其中使用AC電源沉...

本申請(qǐng)案涉及用于靜電卡盤的螺旋多相電極。靜電卡盤包含各自具有圍繞所述靜電卡盤的表面的中心的螺旋形狀的多個(gè)電極，以提供多相靜電卡盤。各電極可連接到不同相位的電力。所述螺旋形狀可各自相互避開以及避開所述靜電卡盤中的所述表面中的孔或開口。所述...

本實(shí)用新型大體上涉及一種用于流體容納系統(tǒng)的配件及一種容納系統(tǒng)。更具體來說，本實(shí)用新型涉及一種用于將襯里附接在容器內(nèi)且提供從所述襯里到所述容納系統(tǒng)的外部的流體路徑的配件。所述襯里及所述配件的至少一部分為所述容納系統(tǒng)提供濕表面，而所述配件具...

本申請(qǐng)涉及低金屬含量聚烯烴過濾膜。提供了某些聚烯烴膜，其可用作液體純化過濾器的組件。有利地，本公開的所述過濾膜具有極大降低的某些痕量金屬的濃度，因此使得其在制造微電子裝置所用液體的過濾中特別有用。在一個(gè)方面，本公開提供了一種包含聚烯烴的...

本申請(qǐng)案涉及一種過濾器及一種過濾器與歧管系統(tǒng)。自鎖到過濾器歧管的所述過濾器包含在平面圖中具有長軸及短軸且沿著所述長軸比沿著所述短軸長的凸緣。所述過濾器進(jìn)一步包含在所述長軸上的止擋器，所述止擋器可在所述過濾器插入到過濾器歧管中且旋轉(zhuǎn)時(shí)接觸...