本申請案涉及過濾器壽命指示介質及保持器。一種介質樣本保持器包含基底及經配置以允許將所述基底附接到附接適配器的多個固持組合件，所述多個固持組合件包含固持突片及相對的柔性釋放杠桿臂。所述介質樣本保持器可將介質樣本附接在過濾器上或附近。保持于...

等離子體增強原子層沉積PEALD方法，其使用具有式R

本發明公開一種閥系統，其具有閥位置指示器。所述閥位置指示器允許從一或多個觀看位置觀看閥位置。在一個實例中，所述閥位置指示器包含閥組合件上的側閥打開/關閉指示器及頂閥打開/關閉指示器。指示器鎖定機制將所述閥位置指示器牢固鎖定成與控制閥的位...

本發明大體上涉及一種組合物和方法，所述組合物和所述方法用于自上面具有殘留物和污染物的微電子裝置清潔所述殘留物和/或污染物。所述殘留物可包括CMP后、蝕刻后和/或灰分后殘留物。所述組合物和方法在對包含銅、低k介電材料和阻擋材料的微電子表面...

本發明提供組合物，其適用于從其上具有氮化硅材料、多晶硅、氧化硅材料及/或硅化物材料的微電子裝置相對于所述多晶硅、所述氧化硅材料及/或所述硅化物材料選擇性移除所述氮化硅材料。本發明的所述組合物尤其適用于蝕刻3D NAND結構。

本發明描述化學氣相沉積CVD方法，其使用式R

本發明大體上涉及一種用于容納流體的容納系統。更具體來說，本發明涉及一種用于將襯里附接于容器內且提供從所述襯里到所述容納系統的外部的流體路徑的配件。所述襯里及所述配件的至少一部分提供所述容納系統的濕面，同時所述配件具有可接合到例如提供剛性...

本發明描述經硼摻雜的非晶形碳硬掩模、制備經硼摻雜的非晶形碳硬掩模的方法、使用所述經硼摻雜的非晶形碳硬掩模的方法及包含所述經硼摻雜的非晶形碳硬掩模的裝置。

本申請案涉及多層靜電卡盤組合件。描述了用以在晶片處理期間緊固和支撐晶片襯底的多層靜電卡盤和相關方法，其中所述卡盤包含接地結構，所述接地結構包含接地層和接地引腳。所述接地結構包含接地層和接地引腳。所述接地結構包含接地層和接地引腳。

一種在襯底上形成含鉬材料的工藝，其中在氣相沉積條件下使所述襯底與二氯二氧化鉬(MoO

本實用新型涉及一種注射模制的多孔燒結體。所述注射模制的多孔燒結體的特征在于所述多孔燒結體包含燒結顆粒并且具有介于百分之50至80的范圍內的孔隙率。

本實用新型涉及一種液體可流動多孔濾膜、一種濾筒和一種過濾器。所述液體可流動多孔濾膜是包括兩個相對側且具有不對稱孔隙結構的液體可流動、多孔聚乙烯濾膜；包括此類型的多孔聚乙烯濾膜的過濾器組件和過濾器；制造所述多孔聚乙烯濾膜、過濾器組件和過濾...

本發明公開一種用于支撐工件的容器，所述工件包含圍繞所述工件的上邊緣及下邊緣的倒角。所述容器包含門及能夠與所述門耦合以在所述容器內界定隔離環境的殼體。所述容器包含安裝到所述門的工件支撐件。所述工件支撐件包含支撐柱。所述支撐柱經配置以在工件...

本文描述用于沉積金屬薄膜或層到襯底上的氣相沉積方法，其中所述金屬是鉬或鎢；所述方法涉及含有所述金屬及一或多種含碳配體的有機金屬前驅物化合物，并包含沉積由所述前驅物的所述金屬形成的金屬層到襯底上，隨后將氧化劑引入到所述形成的金屬層。

本實用新型涉及過濾器單元、過濾器歧管系統及歧管塊。描述了用于過濾器歧管系統的過濾器濾芯和歧管塊。所述過濾器濾芯包含在所述過濾器濾芯的第一和第二端部處的環繞開口的凸緣，其中所述凸緣中具有面密封件。歧管塊包含端部塊，其中至少一個端部塊是可移...

本實用新型涉及一種光罩盒門和光罩容器。所述光罩盒門包含具有透鏡、側壁及凸緣的視窗。所述視窗可在殼體與蓋板之間定位或附貼在門內部。壓縮密封件可與所述視窗結合使用。所述側壁、所述凸緣及所述壓縮密封件協作以在維持所期望的保護水平而不受外部污染...

焊接止回閥包括提升閥組合件、彈簧和接觸所述彈簧的盤。當形成所述焊接止回閥時，所述盤可以保持在遠離焊接的位置。實施例可以包括保持特征，所述保持特征被配置成允許所述提升閥組合件和所述盤中的一或多個在組裝方向上通過所述保持特征，并且在這些元件...

本申請涉及一種光學傳感器窗口清潔器。傳感器組件包括用于工藝流體的通路、光學窗口、光學傳感器和噴嘴。所述光學傳感器被配置成檢測所述工藝流體的光學性質。所述光學窗口包括內表面。所述噴嘴被配置成沿與所述光學窗口的所述內表面相交的排出方向排出霧...

環境控制材料固持器可以將環境控制材料保持在晶片載體內，從而在固定所述環境控制材料的同時允許所述環境控制材料保護晶片不受潮。所述環境控制材料固持器可以包含底板和突片以限定用于固持環境控制材料的空間，并且可以被配置為與晶片盒的手柄接合。所述...

本申請涉及一種具有改進的流體流動的過濾器，所述過濾器具有：殼體，所述殼體具有第一端面和第二端面以及內表面和外表面；被設置在管狀殼體內的膜；被密封到所述管狀殼體的第一端面以及所述膜的所述第一端面的第一端蓋；密封到所述管狀殼體的第二端面和所...