本發明描述包括多孔聚酰亞胺膜和熱穩定離子基團的濾膜；包括這些濾膜的過濾器和過濾器組件；制造所述濾膜、過濾器和過濾器組件的方法；和使用濾膜、過濾器組件或過濾器從流體去除非所需材料的方法。

本申請描述了一種多孔基質過濾器及其制作方法。在各種應用中，襯底包含金屬表面，所述金屬表面易于在其上形成此金屬的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金屬表面經配置以在使用中與氣體、固體或液體接觸，所述氣體、固體或液體與所述金屬表面進行...

本發明描述了多層涂層、涂有多層涂層的基板(即，物品)以及通過原子層沉積制備多層涂層的方法，其中所述涂層包括氧化鋁層和氧化釔層。

描述從聚合物表面，如從化學機械處理后清潔步驟中所使用的清潔刷的聚合物表面去除磨料顆粒的方法；以及相關的清潔溶液。

本申請涉及配體改性的過濾材料、復合膜以及從液體組合物中減少金屬的方法。本發明描述了包括多元醇配體(例如n?甲基葡糖胺)和/或聚膦酸配體的過濾材料，其對于從流體中過濾金屬或金屬離子非常有效。所述過濾材料可以尤其適用于過濾堿性和酸性流體組合...

本發明描述多孔經燒結金屬體，制備和使用所述多孔經燒結金屬體的方法，以及將所述多孔經燒結金屬體用于包含過濾流體的商業應用，包含用于需要高效(高LRV)過濾的應用中的方法。

本申請描述了一種襯底部分上的復合原子層沉積ALD涂層及一種在襯底部分上形成經圖案化ALD涂層的方法。在各種應用中，所述襯底部分包含金屬表面，所述金屬表面易于在其上形成此金屬的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金屬表面經配置以在使用...

本發明涉及一種化學品遞送系統。所述化學品遞送系統包含散裝容器、運行/再填充腔室、第一導管及第二導管。所述散裝容器存儲前體。所述運行/再填充腔室包含多個間隔開的管，所述多個間隔開的管具有多個表面，所述多個表面用于以蒸汽形式接收所述前體并以...

本發明是針對一種汽化器或安瓿組合件，所述組合件具有改進的汽化器器皿主體和位于其中的支撐托盤組合件配置，它們一起增加了可汽化材料利用率和均勻性。

本發明描述一種用于將包括惰性氣體和含氟氣體的氣體遞送至等離子體浸沒槍的氣體供應組件，其中所述組件被配置成將體積不超過所述含氟氣體和所述惰性氣體的總體積的10％的所述含氟氣體遞送至所述浸沒槍。所述含氟氣體可自所述等離子體浸沒槍中的材料沉積...

本申請涉及用于選擇性蝕刻氮化鈦的組合物和方法。本發明提供可用于從上面具有氮化鈦和/或光致抗蝕劑蝕刻殘余物材料的微電子器件相對于金屬導電材料例如鈷、釕和銅以及絕緣材料而言選擇性去除氮化鈦和/或光致抗蝕劑蝕刻殘余物材料的組合物。所述去除組合...

一種用于凈化氣流的主動濕式洗滌過濾系統，其包括包含以下一或多個的組件：a)渦流設備，所述渦流設備將含污染物氣流誘導到螺旋流中；b)初始洗滌液噴灑部分，所述初始洗滌液噴灑部分被配置成將洗滌液噴霧噴射到所述含污染物氣流中；c)吸收結構；d)...

本發明描述批量工藝氣體凈化系統及相關方法，其包含適于在容器的外表面處使用例如氣體流的一定體積的氣體以在再裝填步驟期間、在再裝填步驟之后的冷卻步驟期間或兩者期間控制容器內部的溫度的系統。

本發明提供一種復合納米多孔金屬膜、其制備方法和使用其過濾超臨界CO

本申請案涉及一種具有側鏈親水基的親水濾膜與相關制備及使用方法。所描述親水聚合物(包含呈含有親水聚合物的濾膜形式)具有側鏈離子基；及制備具有側鏈離子基的所述親水聚合物與衍生物膜及過濾器的方法；及一種使用所述濾膜來過濾例如液體化學品的流體以...

本實用新型涉及經涂布過濾膜、過濾筒和過濾器。描述涂布有聚酰胺的過濾膜、包含所述過濾膜的過濾器和過濾筒，以及使用和制作所述過濾膜的方法。

本發明涉及具有不對稱孔隙結構的多孔聚乙烯濾膜，以及相關過濾器和方法。本發明描述包括兩個相對側且具有不對稱孔隙結構的液體可流動、多孔聚乙烯濾膜；包括此類型的多孔聚乙烯濾膜的過濾器組件和過濾器；制造所述多孔聚乙烯濾膜、過濾器組件和過濾器的方...

本發明描述適用于濕式蝕刻包含氮化硅的微電子裝置襯底的組合物及方法；所述組合物包含磷酸、六氟硅酸及氨基烷氧基硅烷及任選地一或多種額外任選的成分；使用如所描述的組合物進行的包含氮化硅及氧化硅的襯底的濕式蝕刻方法可實現適用或改進的氮化硅蝕刻速...

本發明描述玻璃形成模具，其由石墨模具本體及通過原子層沉積形成的涂層制成，其中所述涂層由氧化鋁或氧化鋁及氧化釔的組合制成。

本發明涉及一種用于傳送光罩的盒，所述盒包含內罩蓋及內底板。所述內底板與所述罩蓋合作以建立用于安裝光罩的空間。所述內底板包含具有周邊的孔及從所述周邊向內延伸的第一凸緣及第二凸緣。窗組合件安裝于所述孔中。所述窗組合件包含透明板、密封件及保持...