本申請案涉及用于靜電卡盤的多層的接地機(jī)構(gòu)和相關(guān)方法。描述了用以在晶片處理期間緊固和支撐晶片襯底的多層靜電卡盤和相關(guān)方法，其中所述卡盤包含接地結(jié)構(gòu)，所述接地結(jié)構(gòu)包含接地層和接地引腳。接地層和接地引腳。接地層和接地引腳。

本申請涉及多孔燒結(jié)膜和制備多孔燒結(jié)膜的方法。描述多孔燒結(jié)體和通過包括注射模制步驟的步驟來制造多孔燒結(jié)體的方法。驟的步驟來制造多孔燒結(jié)體的方法。驟的步驟來制造多孔燒結(jié)體的方法。

本實用新型涉及復(fù)合納米多孔金屬膜及包含其的過濾器。本實用新型提供一種用于過濾如超臨界CO2等流體的復(fù)合納米多孔金屬膜。所述復(fù)合納米多孔金屬膜一般包含：a)燒結(jié)粗糙層；b)中間層，其包括在燒結(jié)到粗糙層的燒結(jié)結(jié)構(gòu)中接合的第一金屬粒子和第二金...

本申請案涉及襯底容器。所述襯底容器包含板、殼體、連接器及密封件，其中所述連接器經(jīng)由螺母螺合及緊固，且所述密封件接觸所述殼體、所述板及所述連接器中的每一者。所述板具有容納所述連接器的端及所述螺母的凹部。包含止回閥的可現(xiàn)場維修的可移除的吹掃...

本發(fā)明描述含有經(jīng)高精度塑形的表面的研磨表面及墊修整器，包含可用于修整化學(xué)機(jī)械處理CMP墊的墊修整器，及其相關(guān)方法。

本公開涉及經(jīng)配置以將四氟化鍺(GeF

本發(fā)明涉及一種流體回路，其包含多個管件節(jié)段及多個操作組件。每一管件節(jié)段包含：i)非導(dǎo)電聚合物部分，其界定流體通道；及ii)一或多個內(nèi)部導(dǎo)電氟聚合物條帶，其軸向延伸到所述相應(yīng)管件節(jié)段中的每一者的端。每一操作組件包含導(dǎo)電氟聚合物，其在形成所...

本發(fā)明涉及一種主要用于低流量、低遞送壓力應(yīng)用中的壓力調(diào)節(jié)流體存儲及分配容器內(nèi)的壓力調(diào)節(jié)器裝置。調(diào)節(jié)器靜摩擦挑戰(zhàn)已經(jīng)憑借使用不同提升閥元件配置的改進(jìn)式提升閥組合件以及在隔膜元件的收縮及膨脹期間提供更多柔性的壓力感測組合件中的改進(jìn)式伸縮式結(jié)...

本發(fā)明描述在表面處包含陶瓷材料的模具，以及形成所述模具的方法及使用所述模具的方法；所述陶瓷材料大致上、大部分或全部由三種命名為M、A及X的元素組分構(gòu)成；所述“M”組分為至少一種過渡金屬；所述“A”組分為Si、Al、Ge、Pb、Sn、Ga...

本公開涉及一種利用硼成核層和鉬成核層制造鉬膜的方法。與不使用硼成核層或鉬成核層的常規(guī)化學(xué)氣相沉積工藝相比，所得鉬膜具有低電阻率、基本上不含硼、并且可以在降低的溫度下制造。通過此工藝形成的所述鉬成核層可以保護(hù)襯底免受MoCl

本申請涉及具有可移動連接機(jī)構(gòu)的歧管。描述了用于過濾器歧管系統(tǒng)的過濾器濾芯和歧管塊。所述過濾器濾芯包含在所述過濾器濾芯的第一和第二端部處的環(huán)繞開口的凸緣，其中所述凸緣中具有面密封件。歧管塊包含端部塊，其中至少一個端部塊是可移動的，使得所述...

本公開報告用于ESD減輕的具有導(dǎo)電聚合物套筒的流體過濾器的實施例。此過濾器的實施例可包括導(dǎo)電套筒和綁帶，以減輕靜電放電。

本發(fā)明描述包含多孔氟聚合物薄膜及熱穩(wěn)定離子基團(tuán)的過濾薄膜；過濾器及包含這些過濾薄膜的過濾器組件；制造所述過濾薄膜、過濾器及過濾器組件的方法；以及使用過濾薄膜、過濾器組件或過濾器以從流體去除非所需材料的方法。

本申請案涉及用于襯底容器的吹掃連接器及模塊。所述襯底容器包含板、殼體、連接器及密封件，其中所述連接器經(jīng)由螺母螺合及緊固，且所述密封件接觸所述殼體、所述板及所述連接器中的每一者。所述板具有容納所述連接器的端及所述螺母的凹部。包含止回閥的可...

本申請涉及一種汽化容器和方法。一種用于所述汽化容器的托盤，其包括具有側(cè)壁、底板、延伸穿過所述底板的一或多個孔和延伸穿過所述底板且從所述底板延伸的管道的托盤。所述托盤被配置成支撐待汽化的固體試劑。一種組裝所述托盤的方法，其包括形成具有所述...

本發(fā)明揭示一種用于存儲及施配試劑氣體的氣體供應(yīng)容器，其包含過濾器，使得所述容器能夠在其過濾之后以高純度水平來輸送所述試劑氣體。所述過濾器包含多孔燒結(jié)主體，且在低壓下，在以相對較低流動速率且伴隨跨越所述過濾器的相對較低壓降從所述容器輸送期...

描述包含多孔聚合中空纖維支撐物和過濾層的復(fù)合中空纖維濾膜；制造所述復(fù)合中空纖維和使用所述復(fù)合中空纖維作為濾膜的方法；由所述復(fù)合中空纖維制造過濾器組件或過濾器的方法；和含有所述復(fù)合中空纖維作為濾膜的過濾器組件和過濾器。

本發(fā)明提供一種處理化學(xué)機(jī)械拋光CMP墊調(diào)節(jié)器的方法，其包含：提供包含調(diào)節(jié)器襯底和漿料的所述CMP墊調(diào)節(jié)器，所述調(diào)節(jié)器襯底是具有接合到所述調(diào)節(jié)器襯底的頂面且維氏硬度大于3,000Kg/mm

本發(fā)明描述通過使用雙(烷基芳烴)鉬作為用于這類沉積的前體將鉬材料沉積到襯底上的氣相沉積方法，所述雙(烷基芳烴)鉬在本文中又稱為(烷基芳烴)

公開合成氨基碘代硅烷的方法。產(chǎn)生所公開氨基碘代硅烷的反應(yīng)由下式表示：SiI