本申請涉及一種用于流體容器的封蓋、液體容納系統及流體儲存成套裝置。所述用于流體容器的封蓋包含封蓋主體，所述封蓋主體包含位于第一末端的基底表面和位于第二末端的開口。所述封蓋主體可與所述流體容器接合。所述基底表面包含第一接合結構。所述封蓋包...

一種光罩艙，其包含外艙、內艙蓋和內底座板。光罩支撐在所述底座上，且包含在由所述內艙蓋和所述內艙底座產生的環境內。所述內艙蓋可包含多個光罩保持器，其經配置以接觸所述光罩的側壁，并限制所述光罩在水平方向上的移動。

本發明描述一種在襯底上形成含鉬材料的方法，其中在氣相沉積條件下將所述襯底與四氯氧化鉬(MoOCl4)蒸氣接觸以在所述襯底上沉積所述含鉬材料。在各種實施方案中，可采用所述襯底的二硼烷接觸以建立用于(例如)通過例如脈沖化學氣相沉積CVD的C...

本發明涉及用于過濾隔膜的間隔件，其由穿孔薄膜形成。所述間隔件包含可用作集成層壓帶的未穿孔區域，其有利地省略編織及非編織間隔件織物所需要的單獨層壓步驟的需求，同時還提供具有均勻厚度的間隔件。

本文中描述一種聚酰胺中空纖維膜，及制作且使用所述中空纖維膜的方法。所述聚酰胺中空纖維膜具有從約5L/m

本發明揭示一種襯底容器，其利用閂鎖機構中由旋轉凸輪致動的搖臂連桿或線性凸輪布置。所述搖臂連桿或線性凸輪被安裝到所述襯底容器的門的內部面板，且可被安置靠近所述內部面板的邊緣部分。所述搖臂連桿或線性凸輪可經配置以在所述襯底容器的外殼上施加軸...

本發明涉及一種在無包括二氧化鉿(HfO2)和二氧化鋯(ZrO2)中的至少一者的氧化物材料的等離子體曝露的情況下氣相蝕刻所述氧化物材料的方法。所述方法涉及使所述氧化物材料與包括氯化磷和氯化鎢中的至少一者的蝕刻介質接觸，在條件下產生可去除的...

本發明提供一種涂布有交聯聚合單體的多孔聚合物膜。所述多孔聚合物膜上的涂層在其浸入有機液體中時具有電荷。本發明公開所述經涂布的多孔聚合物膜、一種利用所述膜的過濾器及一種用所述經涂布的多孔聚合物膜處理用于光致抗蝕劑的有機液體以從所述有機液體...

本發明揭示一種界定供流體從流體供應器(152)朝向過程階段(156)的流徑的流體回路(160)。所述流體回路可包含多個操作組件(168)，其包含主體部分(182)及多個導管連接器配件(186)。所述操作組件可由多個導管段(164)連接。...

本發明描述用于實施氮離子植入的組合物、方法和設備，其在所述氮離子植入后進行易于發生故障的另一離子植入操作，例如植入砷和/或磷離子物種時避免發生嚴重故障。所述氮離子植入操作有利地利用引入離子植入系統的離子源室或在所述離子源室中形成的氮離子...

本發明涉及一種氫化且富含三氟化硼(BF3)同位素的摻雜劑來源氣體組合物。所述組合物含有(i)三氟化硼，其富含高于天然豐度的同位素原子質量11的硼(UB)；和(ii)氫氣，以所述組合物中三氟化硼和氫氣的總體積計，所述氫氣的量是2體積％到6...

本發明揭示一種折疊式過濾器，其包含多孔氟聚合物過濾薄膜及定位成直接相鄰于所述過濾薄膜的支撐網。在各種實施例中，所述支撐網經放置于所述過濾薄膜的流出側及所述過濾薄膜的流入側中的至少一者上。在一或多個實施例中，所述支撐網包含非導電氟聚合物線...

本發明描述一種防破損密閉包裝，其包含：容器；罩蓋，其經配置以與所述容器接合，使得所述容器及罩蓋形成圍封容積；及至少一個防破損機械緊固件，其與所述罩蓋及容器協作以當以使所述圍封容積與圍繞所述密閉包裝的周圍環境隔離的密封狀態接合所述容器及罩...

本發明涉及用以控制氣載分子污染物的用于半導體工具及潔凈室應用的過濾器。過濾匣系統包含：過濾匣，其具有非織纖維及至少一種吸附劑。在一些實施例中，所述過濾匣由大體上可燃材料構成以支持其終止服務破壞。

一種襯底容器(100)包含容座(105)及蓋(110)。所述容座(105)包含用于支撐襯底的基底部分(115)及從所述基底部分(115)向上延伸的側壁部分(120)。所述蓋(110)在所述容座(105)上方界定封閉件。在一個實施例中，所...

本發明提供一種襯底保持器(110)，其呈現可適應上面的襯底對齊的位置的大變化的基本上均勻接觸面(128)。允許所述均勻接觸面(128)偏轉并壓縮以便消除襯底(114)被所述襯底保持器(110)損壞或被無意地夾緊于所述襯底保持器(110)...

本文描述聚乙烯薄膜和尤其超高分子量聚乙烯薄膜，其提供高空氣滲透率并且具有疏水性。所述薄膜具有小孔隙并且適于通過曝光于γ輻射來滅菌。所述薄膜可通過涉及伸展所述薄膜和將疏水性單體接枝于所述薄膜表面上中的一或多者的方法來制備。可將全氟化單體、...

本發明揭示一種氣體過濾器，其包含外殼，所述外殼包含安裝部分及主要部分。所述安裝部分經配置以將所述氣體過濾器安裝于裝置的表面上。所述主要部分經配置以與所述裝置的所述表面隔開而定位且從所述安裝部分在水平方向上延伸。所述外殼具有入口及出口且界...

本發明提供用于從液體流過濾微粒的裝置及方法。過濾器筒包含：外殼，其經配置以放置成與液體流同軸；及多個中空纖維過濾器構件，其安置于所述外殼內。中空纖維過濾器構件填裝于所述外殼的一端處且經配置以經由表面能從所述液體流捕獲微粒。所述過濾器筒可...

本申請描述了一種襯底部分上的復合原子層沉積ALD涂層及一種在襯底部分上形成經圖案化ALD涂層的方法。在各種應用中，所述襯底部分包含金屬表面，所述金屬表面易于在其上形成此金屬的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金屬表面經配置以在使用...